Engineering Ceramics Inc. (EC © ™) Jelentés:
EKVákuumátadás- Műszaki összefoglaló
Az EC nagy teljesítményű vákuumát átitatásokra szakosodott, mint például:
✔ Kerámia szigetelő ultra nagyfeszültségű szigeteléshez (Al₂o₃/ALN)
✔ vákuumforrasztási technológia (szivárgás sebessége <10⁻⁹ mbar · l/s)
✔ A légmentesen lezuhant a turbó molekuláris szivattyúk/ionszivattyúkhoz (UHV/XHV kompatibilis)
✔ Egyéni konfigurációk a félvezető, az űr- és kutatási alkalmazásokhoz
1. táblázat: Osztályozás a működési elv alapján
|
fajta |
Működési elmélet |
Végső vákuum (PA) |
Fő jellemzők |
Fő felhasználások |
|
Rotációs lapáttöltő szivattyú |
Átmenet egy forgó furgonnal |
1E-1 ~ 1E2 |
Olajtömítés típusa, karbantartás szükséges |
Foreline/hátsó szivattyú |
|
Száraz tekercs szivattyú |
Gázkompresszió orbitális spirálokkal |
1E-2 ~ 1E1 |
Olajmentes, alacsony rezgés |
Laboratóriumi berendezés |
|
Gyökérfúvó |
Gázszállítás számláló forgó lebenyekkel |
1E-1 ~ 1E3 |
Nagy teljesítményű, gyakran többszintű |
Ipari vákuumrendszer |
|
Olajdiffúziós szivattyú |
Transzfer gőzsugaras lendület útján |
1E-7 ~ 1E-4 |
Nincs szükség mozgó alkatrészekre, hideg csapdákra |
E-sugárlerakódás |
|
Turbó molekuláris szivattyú |
A nagysebességű rotor (> 60K / perc) ütközik a molekulákkal |
1E-9 ~ 1E-6 |
Tisztítás, rezgés érzékeny |
UHV tudományos gép |
|
Kriogén szivattyú |
Gázkondenzáció <20K felületeken |
<1e-10 |
Maximális vákuum és rendszeres regeneráció szükséges |
Űr környezet szimulációja |
2. táblázat: Osztályozás vákuumszint szerint
|
Vákuumtartomány |
Nyomás (PA) |
Optimális szivattyútípus |
Műszaki megfontolások |
|
Durva vákuum |
1E5 ~ 1E2 |
Forgó lapát, membrán |
Nagynyomású támogatás gázballasztmal |
|
Alacsony vákuum |
1E2 ~ 1E-1 |
Gyökerek + rotációs lapát |
Sebesség és energiahatékonyság |
|
Nagy vákuum |
1E-1 ~ 1E-7 |
Terjesztés, |
Backstream megelőzés |
|
Ultra-magas vákuum (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, Cryopump |
Az anyagválasztás fontos |
|
Rendkívül magas vákuum |
<1e-10 |
Hibrid ion-kryoszisztéma |
Kvantumszintű környezet |
Vákuumszivattyú kiválasztási útmutató
Kulcsválasztási kritériumok
1. Végső vákuumszint
A szükséges vákuumszintnek meg kell felelnie a folyamat előírásainak. például:
- A félvezető gyártásában általában 10 ° PA alatti vákuumszintre van szükség.
- Az ipari folyamatokban hatékonyan működhet a 10⁻¹ és 10² PA tartományban
2. Szivattyúzási sebesség
Liter/másodpercenként (l/s) vagy köbméter/óra (m³/h) méréssel mérve
Válassza ki a kamara kapacitásának és a gázterhelésének megfelelő méretét
A nagy áteresztőképességű alkalmazásokhoz (például vákuumkemencékre) 1000+ m³/h-t igényelhetnek
3. Gáz és kémiai kompatibilitás
- Szabványos felhasználás: Szabványos anyagok (rozsdamentes acél, alumínium)
- Korróív környezet: Például speciális anyagokra van szükség:
- PTFE bevonat alkatrészek (saválló)
- Hastelloy vagy nikkelötvözet (olyan hatalmas vegyi anyagokhoz, mint például a klór)
4. Energiahatékonyság és karbantartás
- Olajtömítés szivattyú:
- Alacsony kezdeti költségek
- Rendszeres olajcsere szükséges (2000–4000 óránként)
- Az olajszennyezés kockázata érzékeny folyamatok révén
- Száraz (olajmentes) szivattyú:
- Magas kezdeti beruházás
- Nincs szükség karbantartásra (nincs olajcsere)
- Tiszta folyamatokhoz ajánlott (például gyógyszerek, élelmiszer)
A szövegben lefedett fő terminológia a következő:
1. Vákuumtömítések - Vákuumtömítés, ujjvákuum -tömítő technológia és vákuumátadás hatékony (tömítő csatlakozás).
2. Az átfogó rész (かんつうぶ かんつうぶ)-Átmeneti rész általában olyan alkatrészekre utal, amelyek áthaladnak a falakon vagy a partíciókon, és néha a vákuumhoz hasonló struktúrák leírására használják.
3. FURANZI - Karima, amelyet általában a vákuumrendszer -csatlakozási összetevőkben használnak, a vákuumhoz kapcsolódó hardver magában foglalhatja ezt a kifejezést.
4. Vákuumcsatlakozó - vákuumcsatlakozó, alsó levegő vákuumcsatlakozó és a hozzáférés képessége.
5. Szigetelés behatolása - A vákuum átültetés során történő végrehajtás képessége.
Ezek a szavak nem teljesen egyenértékűek a "vákuum átültetésével", de bizonyos körülmények között megközelítésként vagy kapcsolódó kifejezésként használhatók. Az melyik nyelv használata a műszaki részletektől és az ipari normáktól függ, ezért ajánlott, hogy hivatkozzon a vonatkozó szakirodalomra, vagy konzultáljon szakértővel a pontosság biztosítása érdekében.
Nyilatkozat: A cikk/hír/videó az internetről vagy az AI szoftver által készített. Weboldalunk újból kinyomtatja a megosztás célját. Az újbóli nyomtatott cikk/hír/videó szerzői joga az eredeti szerző vagy az eredeti hivatalos fiókhoz tartozik. Ha valamilyen jogsértést érint, kérjük, tájékoztasson minket időben, és ellenőrizzük és töröljük azt.
